眾所周知反滲透是滲透的逆過程，主要是在壓力的一個推動下，借助半透膜的截留作用，迫使溶液中的溶劑與溶質分開的膜分離過程。純水和超純水是現代工業中一種十分重要的原材料，已被廣泛應用于半導體、化工和醫藥等領域。
目前市面上主要利用的是反滲透膜技術生產超純水的工藝已經很成熟了，反滲透膜能夠有效地降低水的電導率和其中總溶解性固體的含量，對大部分鹽類成分的截留率超過95% ,并且水通量大。雖然也出現了膜污染問題，但是通過化學清洗的方法可以有效地解決。
伴隨著純水制備工藝的不斷進步，傳統的陽陰離子交換工藝逐漸被反滲透系統取代，傳統的混合離子交換則逐漸被電去離子裝置取代，發展成了反滲透+電去離子脫鹽系統，與傳統方法相比，該系統具有出水質量高、無人值守、占地面積小和運行經濟等一系列優點，被稱為綠色脫鹽系統。
通過控制反滲透的級數可制取不同純度脫鹽水。隨著反滲透級數的增加，脫鹽水的純度提高，但是出水量減少，水利用率降低，反滲透裝置連用一般不會超過二級，通常將反滲透與電去離子技術聯用，不僅克服了反滲透出水不能徹底除鹽的不足，還可以提高電去離子裝置的進水水質，防止電去離子設備損壞，提高整體凈水效果。
